アクティブ波面制御を導入した光干渉リソグラフィに関する研究

空間位相変調器を導入した光学系プロトタイプの構築

抄録

波面分割型干渉計の一種である非直交型ロイドミラー干渉計では，マルチビーム露光の原理でピッチ一定の干渉定在波を安定生成できるが，その露光ビーム波面をアクティブ制御することで，干渉定在波の生成により自由度を持たせることができると期待される．本報では，非直交型１軸ロイドミラー干渉計光学系プロトタイプに空間位相変調器を組み込み，干渉定在波の生成を試みた結果を報告する．