非接触輪郭形状測定機を用いたマイクロプローブ先端球の計測

抄録

直径0.1mm未満のプローブ先端球では，直径と形状誤差の評価に用いるnm精度基準球の作製が困難であるため，従来の比較測定に基づくプローブ校正には課題がある．本研究ではマイクロプローブ先端球の直径と形状誤差をnm精度で測定するために，非接触輪郭形状測定機による測定に取り組んだ．輪郭形状よりプローブ先端球の直径及び真円度を算出し，真円度測定機による測定結果との比較により，提案手法の有効性を検証した．