超伝導線材を用いたSUAM法の確立に関する研究

抄録

超電導現象のピンニング効果を活用し浮上させた工具で加工を行う超電導援用加工法（SUAM）を用いた中空造形物の微細加工、真空中でのウェーハの輸送方法の確立を目的とし、超電導線材を用いたバルクの作製、浮上工具の形状変更を行い、浮上工具に外力を加えたときの反力の測定を行った。その結果、反力は超伝導線材バルクの大きさ、磁石の磁束に影響することを確認した。