精密工学会学術講演会講演論文集
2023年度精密工学会秋季大会
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モード同期フェムト秒レーザを用いた絶対位置エンコーダに関する研究
原理提案と理論数値計算に基づく検討
*佐藤 遼松隈 啓高 偉
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p. 601-602

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抄録

単色レーザと等ピッチ回折格子スケールの組み合わせにより実現されるエンコーダは絶対位置計測が困難であることが課題であった.本研究では,広帯域光スペクトルを有するモード同期レーザフェムト秒レーザと不等ピッチ回折格子スケールの組み合わせによる絶対位置計測可能なエンコーダを提案する.不等ピッチ回折格子における回折光の数値シミュレーション解析を実施し提案原理の実現可能性について検討を行った結果を報告する.

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© 2023 公益社団法人 精密工学会
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