主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2023年度精密工学会秋季大会
開催地: 福岡工業大学
開催日: 2023/09/13 - 2023/09/15
p. 601-602
単色レーザと等ピッチ回折格子スケールの組み合わせにより実現されるエンコーダは絶対位置計測が困難であることが課題であった.本研究では,広帯域光スペクトルを有するモード同期レーザフェムト秒レーザと不等ピッチ回折格子スケールの組み合わせによる絶対位置計測可能なエンコーダを提案する.不等ピッチ回折格子における回折光の数値シミュレーション解析を実施し提案原理の実現可能性について検討を行った結果を報告する.