2023年度精密工学会秋季大会
会議情報
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2023年度精密工学会秋季大会
開催地: 福岡工業大学
開催日: 2023/09/13 - 2023/09/15
極低温パッシブ近接場光顕微鏡を用いた電流印加グラフェン細線上の熱分布計測
p. 599-600
詳細
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2023年度精密工学会秋季大会
開催地: 福岡工業大学
開催日: 2023/09/13 - 2023/09/15
p. 599-600
グラフェンは半導体デバイスのさらなる微細化や高性能化への応用が期待されており，電流を印加したときの熱分布特性を計測することは，グラフェンの特性を理解するために重要である．物質表面に局在する温度情報をもった熱励起エバネッセント波をナノスケールで検出する技術を用いて，5K環境下にて，電流を印加したときの熱分布特性についてパッシブ計測を試みたので報告する．
