自由曲面のための3点計測法の開発

抄録

自由曲面は、広視野・高空間分解能・高スループットな光学系を実現できるが、計測技術の確立が課題だった。我々は、自由曲面の計測が可能なひきずり3点法による円環パス計測を開発した。円環パスの始点と終点の高さと傾斜が一致する、という境界条件によって測定誤差が軽減される。本研究では、軸外し非球面の円環パス計測試験を行った。計測再現性はRMS = 1.5nmであり、CGH干渉計の結果とよく一致し、両者の差分はRMS = 17nmだった。