多結晶ダイヤモンド基板の低コスト・高能率平坦化に関する研究（第3報） レーザトリミング効果の検証とプラズマ援用研磨後の結晶性評価

杉原 聡太; 董 佳遠; 寺本 龍樹; 大久保 雄司; 孫 栄硯; 山村 和也

doi:10.11522/pscjspe.2023A.0_685

2023年度精密工学会秋季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2023A.0_685

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主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2023年度精密工学会秋季大会

開催地: 福岡工業大学

開催日: 2023/09/13 - 2023/09/15

多結晶ダイヤモンド基板の低コスト・高能率平坦化に関する研究（第3報）

レーザトリミング効果の検証とプラズマ援用研磨後の結晶性評価

*杉原聡太, 董佳遠, 寺本龍樹, 大久保雄司, 孫栄硯, 山村和也

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キーワード: 多結晶ダイヤモンド, プラズマ援用研磨

会議録・要旨集フリー

p. 685-686

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抄録

パワーデバイスのヒートスプレッダとして熱伝導率が高い大粒径の多結晶ダイヤモンド（PCD）の応用が期待される．PCD基板とデバイスの接合には接合界面の平滑化が必要であり，我々はプラズマ援用研磨を提案した．しかし基板にうねり形状に起因して研磨が長時間化する問題が存在した．そこで本報では，前処理としてレーザトリミングによる平坦化処理を導入し，その後プラズマ援用研磨を適用した結果について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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