広帯域光周波数コム散乱分光による表面トポグラフィ計測に関する基礎的研究（第7報）

矩形溝計測による表面トポグラフィ計測原理の検証

抄録

数nmから数十µmの3次元微細加工において，表面トポグラフィ計測手法が求められている．本研究では，広範囲かつ高精度な計測の実現のために，光周波数コムを光源としたレーザ逆散乱法による計測手法を提案している．本報告では，提案手法の計測原理を検証するために白色レーザを光源とした計測装置を構築した．さらに，深さ2µm，幅20µmの矩形溝の表面トポグラフィ計測を行い提案手法の計測精度を評価した．