蛍光膜厚測定を利用した微細表面形状計測（第1報）

蛍光強度分布の取得と膜厚校正手法提案

抄録

近年、精密部品の小型化・複雑化に伴い微細表面形状計測の需要が高まっている。本研究では、従来の光学式計測手法では計測が困難であった複合材料や低反射率表面に対応する手法として、レーザ誘起蛍光法による蛍光膜厚分布計測を利用した新しい表面形状計測手法を提案する。フレネルレンズや金蒸着基板の表面形状に対応する蛍光強度分布を取得し、ウェッジプリズムを用いた蛍光膜圧の校正により絶対表面形状計測を実施した。