精密工学会学術講演会講演論文集
2024年度精密工学会春季大会
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金型転写の歴史と精度2
ナノ金型の作製方法
*谷口 淳
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p. 653

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抄録

金型を用いたナノパターン転写法にナノインプリント技術がある。本稿では、ナノ金型の作製方法について概説し、解像度の限界について議論する。

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