主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2024年度精密工学会春季大会
開催地: 東京大学
開催日: 2024/03/12 - 2024/03/14
東京理科大 先進工学部 電子システム工学科
p. 653
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金型を用いたナノパターン転写法にナノインプリント技術がある。本稿では、ナノ金型の作製方法について概説し、解像度の限界について議論する。
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