円錐ミラーを用いた金属パイプ試料への内面円周一括露光技術の研究

抄録

円筒試料内側に円錐ミラーを挿入し、マスクパターンを反射させることで内面円周方向に一括で露光する光リソグラフィ技術の研究を行った。金属試料として内径 14mmのステンレス製パイプを用いて内側にネガ型レジストを塗布し、同心円状のラインアンドスペースパターンを描いたマスクを用いて約等倍で投影露光を行った。最小100μmラインアンドスペースパターンを内面円周観察8方向に形成することができた。