主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2024年度精密工学会春季大会
開催地: 東京大学
開催日: 2024/03/12 - 2024/03/14
p. 848-849
静電容量式近接センサの出力は大気環境などの影響を受けるため,長時間の測定では正確度の低下を招く.本研究では,校正用電極を用いてセンサ出力のドリフト成分のみを測定し,出力を補正する手法を提案する.センサ電極前方に配置された校正用電極は,通常時電気的に解放されるが,校正時に接地され近接物の有無に依存しない校正信号を生成する.実装したセンサでは,長時間にわたり50cm以上の近接動作検知を達成した.