InP系HEMTの信頼性

抄録

InP系HEMTは, 種々の物性的恩恵によりGaAs系では得られない超高速・超高周波性能が実現できるデバイスとして有望である。一方本デバイスは, 信頼性に劣ることが指摘されており, 実用化に向けた大きな課題となっていた。ここではInP系HEMTの信頼性律速要因の解明と対策に関するこれまでの取り組み概要を述べた後、実デバイスへの適用例と信頼性の現状を紹介する。