日本信頼性学会誌　信頼性
Online ISSN : 2424-2543
Print ISSN : 0919-2697
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InGaAsディテクタを用いたLSIエミッション裏面解析ツール (特集 LSI品質の保証のための提案)
九鬼 俊雄, 中村 智紀, 板橋 裕行
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2004 年 26 巻 4 号 p. 303-308

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抄録
0.13μm以降の半導体デバイスの故障解析・早期検証において裏面からの解析が必須となってきている.エミッション裏面解析ツールEmiScope^[○!R]及びIREMは近い将来の45nmプロセスまで対応可能であり,裏面からのフォトンを高効率で収集することができる.
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© 2004 日本信頼性学会
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