理研計器(株）
電子技術総合研究所
1994 年 33 巻 1 号 p. 33-35
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モノシランガスの漏洩を確実に検知するために，前回の実験に引き続きモノシランガスの空気中での反応について確かめる実験を行った．モノシラン分子の空気中の酸素との反応が大きな温度依存性を示すことを確認した。また，モノシラン分子が空気中に長く存在する場合，反応して酸化珪素粉末を生じる場合の両方に対して検知可能な方法として電気化学式ガスセンサ・煙センサ複合型モノシラン警報器 を提案した.
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