半導体レーザの反射戻り光を用いた近接センサの反射率補正方式

抄録

半導体レーザ光を対象に照射した場合の反射戻り光による，レーザ発振パワーの変化を利用した近接センサでは対象の反射率の影響に対する補正方式が課題である。本報告では，対象からの反射光角度分布を利用して，反射率変化に対する補正方式を提案し，実験によりその有効性を検証する。対象が既知の場合のレーザの変動に対する制御方法は今までの研究で検討しており，これらをあわせると，総合的な補正制御による実用的なセンサの可能性は明らかとなる。