半導体生産ラインの生産効率化のための汎用装置の運用ヒューリスティクスとその有効性

抄録

半導体生造におけるイオン注入工程では，多種のイオン注入を数台の注入装置で行っている．イオン種切替の際には長時間の段取り替え作業が必要となる．本研究では，生産効率性を低下させる段取り替え時間を削減するため，イオン注入装置での使用イオンの専用化について考察する．専用化する装置とイオンを決定するヒューリスティクスを提案し，その有効性を現実データに基づくシミュレーションにより検証する．