マイクロ電気機械両持梁共振器の非線形応答特性に関する一検討

抄録

昨今，半導体加工技術を用いたマイクロマシン技術の可能性に期待が集まっている．デバイス構造が微細化，集積化されていくにつれて電気機械相互作用等の非線形特性が顕著に現われることが報告されている．本報告は，これらの非線形特性をセンサなどのデバイスに応用することを目的として，デバイスのモデルを検討するものである．最終原稿では導出モデルに基づき，数値計算結果を示すと同時にセンサ感度に関係する分岐特性を議論する予定である.