規範モデルにモデル予測制御を用いたサーボモータの2自由度制御

抄録

半導体製造装置などの産業用機械では、駆動装置としてサーボモータが広く用いられ、高速、高精度かつ低振動化が求められている。このとき、トルク飽和や変化率を考慮しなければならない。トルク飽和が発生すると、装置に振動を励起してしまう。 　そこで、本稿ではマルチパラメトリック計画法を用いたモデル予測制御を用いて、高速・低振動な応答が得られ、かつトルク飽和や変化率を考慮した制御系について検討する。