レーザー誘起放電PVD法による硬質炭素膜の形成

表面技術

Online ISSN : 1884-3409
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レーザー誘起放電PVD法による硬質炭素膜の形成

小椋茂樹, 峰田進栄, 安永暢男

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ジャーナルフリー

1990 年 41 巻 5 号 p. 572-573

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.41.572

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