抄録
大きさが0.5〜3μmの粒子を対象として,ダウンフロークリーンルーム内に置かれた物体への粒子沈着実験を行った.沈着に及ぼす静電気力の影響を調べるため,接地した平板と,正または負の電圧を印加した平板を沈着面として使用し,円管内を層流で流れる単分散エアロゾル粒子を室内気流と等速で吹き付けた.また,粒子の帯電量分布の測定も行った.平板表面に付着した粒子の個数から沈着速度を求めたところ,粒子に働く重力ならびにクーロン力の解析結果に基づいて得られた理論値との間に良い一致がみられた.本報の結果より,粒子沈着量の予測においては粒子の帯電状態および沈着面近傍の電場の把握が重要であることが示唆された.
