シリコンウエハとFT-IRを用いたプラスチック含有可塑剤の移行確認方法

抄録

ソルベントクラックは、エンジニアプラスチックといわれる硬い樹脂に有機溶媒が作用することでクラックが生じる現象である。あるホテルで、室内ユニットのドレンアップホースに破損が生じた。この破損は、ソルベントクラックが生じた為と推察された。樹脂に含まれる可塑剤の移行性について分析する公定法はない。そこで、シリコンウエハに樹脂を圧着し、シリコンウエハに移行した成分をFT-IRで検出する方法を試みた。