自律走行型ロボットを用いたパーティクル計測システムの検証

抄録

クリーンルーム（以下CR）内のFFUは一定速度で運転されることが多く、過度に清浄化し必要以上の電力を消費している場合が多い。そこでCR内の清浄度を面的に測定してFFUの運転を最適化する手法として、パーティクルカウンターと自律走行型ロボットを組み合わせたシステムを開発した。本システムによる発塵量は、手動による測定と比較して十分に小さいことを確認した。また、本システムを用いたFFUの制御方法について検討した。