マイクロビームの２次元走査とエネルギー走査して得られるイメージングＸ線吸収微細構造（XAFS）によって、鋼板上に形成した熱酸化皮膜を測定した。高張力鋼板をはじめとする Si 添加鋼にて生じる、水蒸気含有雰囲気中の高温酸化皮膜の加速成長機構について、その過程で生成する酸化皮膜の構造を明らかにするため XAFS マッピングによってボイド周辺の酸化状態の解析を試みた。水蒸気含有雰囲気中で酸化処理した試料では、酸化皮膜にみられる表面側の Fe 酸化数の増加に加え、酸化皮膜内のボイド周辺が高次の酸化物となった。また、水蒸気含有雰囲気中で生成した酸化皮膜では FeO の存在比率が高くなった。
