ビームスプリッター光学素子を利用したオフアクシス型硬Ｘ線結像顕微法の開発

抄録

ビームスプリッターとミラーを一体化した光学素子を開発し、オフアクシス型のシアリング型硬Ｘ線結像顕微法の実現可能性について調べた。ドライエッチング技術により、厚さ約 0.5 μm のビームスプリッターとミラーを同一シリコン基板上に作製した。Ｘ線イメージングの実験は 9 keV の単色Ｘ線により行った。ビームスプリッターの反射Ｘ線と透過Ｘ線の強度のバランス、形状精度などの問題から、干渉像を得るには至らなかったが、今後、本研究を進める上での課題と限界が明らかになった。