微小領域構造評価のための集光マイクロビームを用いた小角X線散乱測定装置開発

抄録

サブnmから数十nmの構造をＸ線散乱法により評価するマイクロビームＸ線小角/広角散乱装置を構築した。フレネルゾーンプレートにより生成されたマイクロビームＸ線サイズは 1.1 x 1.0 μm² (H x V, FWHM)であり、フラックスは 5 x 10⁹ photons/secであった。構築した装置を用いて炭素繊維1本の構造評価を行った。