低加速電圧SEMの検出信号制御による表面情報の抽出

抄録

インレンズ二次電子検出器およびアウトレンズ二次電子検出器を備える低加速電圧SEMを用いて、検出する電子を制御することにより材料表面の情報（形状、導電性、組成など）を選択して抽出した。検出器の選択を含む二次電子像観察条件とSEM像コントラストとの関係を、検出する二次電子のエネルギーおよび角度分布により議論する。