ナノ材料の特性評価のための仮想基板法

抄録

二次電子を使った表面分析技術は数十年前に開発されたが、ナノ材料サンプルには適さない。この講演では、基板からの信号に埋もれた基板上のナノ物質情報を抽出する仮想基板法を紹介する。 仮想基板法は、従来の単色電子ビームの代わりに基板で生成した二次電子スペクトルを仮想プローブとして使用する。そのため従来のオージェ電子分光法で利用されるコアレベルのスペクトルは材料の特性評価における唯一の選択肢ではなくなる。