二種類のトリガーによる交互電界蒸発アトムプローブの製作

抄録

アトムプローブでイオンをパルス電界蒸発させるトリガーにはパルスレーザー、電圧パルスのいずれか一方が用いられている。演者らはトリガーによる選択性を明らかにするために、トリガーを交互に印加するだけでなく、一方のトリガーで電界蒸発を検出した時点で、トリガーを交代させ、電界蒸発を二つのトリガーで完全に交互に起こさせながら分析するシステムを製作中である。今回の発表ではその概要と性能試験について報告する。