直径1.5 mmで実現する内視鏡型デジタル顕微鏡

－　微細OCTプローブでナノメートル精度のデジタル化技術　－

抄録

20 nmの精度で内部を非接触で計測可能な直径1.5 mmの内視鏡型の顕微鏡を製作した。眼科等で生体計測に利用される光干渉断層法（OCT: Optical Coherence Tomography）の光源を高安定化し、工業用に精度を高めた。プローブ直径が1.5 mm以下で、内蔵された微小径モーター2個により軸方向スキャニングと回転方向スキャニングとを行い、試料内筒に挿入することで、内側を全周計測することが可能となった。光はプローブ挿入方向に対して側射されており、測定更新レートは毎秒60フレームである。わずかな隙間から挿入することで高精度計測が可能となる装置は、分解点検の負担が減少させられ、日常点検管理を信頼の高いものにすることができる。