授賞業績
2013年 (第29回) Japan Prize 「物質, 材料, 生産」分野 授賞業績
半導体製造に革新的なプロセスをもたらした化学増幅レジスト高分子材料の開発
ジャーナル
フリー
2013 年
18 巻
8 号
p. 8_60-8_63
詳細
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発行日: 2013/08/01
受付日: -
J-STAGE公開日: 2013/12/06
受理日: -
早期公開日: -
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