低エネルギーイオンを用いたRBSにおける荷電粒子計測(2)

抄録

軽元素材料分析を行うために低エネルギーイオンをプローブに用いたRBS計測においてシリコン半導体検出器Si-SBDを検出器として用いて行った。低エネルギーイオンの散乱粒子計測は困難であるが、さらにビームの角度分散やエネルギー分散などが軽元素を対象としたRBSスペクトルに影響を与えることが大きいことが分かった。