タングステン堆積層における水素同位体挙動

抄録

重水素プラズマスパッタ法を用いて作製したタングステン堆積層を重水素イオン、軽水素プラズマ等に曝露後、昇温脱離法によって堆積層中の水素同位体濃度を測定した。曝露前後での濃度変化から、曝露中の水素同位体挙動を考察した。