加速度センサは，スマートフォンやゲーム機から，車やロボット，ドローンまで，幅広く用いられている．なかでも，量産化や小型化に適したMEMS型の加速度センサは，今後も多くのアプリケーションが期待される．しかし，MEMS加速度センサには，様々なノイズが内在しているため，低消費電力で高感度を実現するのは容易でなかった．近年，筆者らは，超高感度（極低ノイズ）と低消費電力を両立したMEMS加速度センサの開発に成功した．本稿では，センサの仕組みや，センサに適用したブレークスルー技術を説明し，更に，センサの新しい応用事例も紹介する．
