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同位体分析技術の飛躍的な進歩により様々な元素から正確な同位体分析を行うことが可能となっている。最先端の計測では分析元素信号は過渡的かつ不安定(経時変化の大きなもの)であることが多く、従来の質量分析方式では十分な分析精度・正確度が得られない場合が多い。さらにレーザーアブレーション試料導入法を組み合わせたICP質量分析法では、試料輸送過程でのエアロゾル粒子の拡散により元素イメージング分析の空間分解能の低下が顕著である。本研究では、応答性の高いイオン検出器の開発や試料エアロゾルの輸送過程での拡散挙動の解析を通じて、同位体分析精度・正確度の向上と元素イメージングの空間分解能の改善を試みたので報告する。