ホソカワ粉体工学振興財団年報
Online ISSN : 2189-4663
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平成27年度 研究助成成果報告
耐還元粒子配向BaTiO3系圧電セラミックスの開発
坂本 渉
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研究報告書・技術報告書 オープンアクセス

2017 年 25 巻 p. 54-61

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抄録

近年,無鉛圧電材料の開発が環境問題のため注目されている.多くの強誘電体酸化物の中で,BaTiO3は有望な候補である.本研究では,卑金属内部電極を使用した積層圧電アクチュエータデバイス用の耐還元性BaTiO3系セラミックスの作製と評価について研究を行った. Mnドープ(Ba,Ca)TiO3セラミックスの化学組成を最適化することにより,耐還元性のBaTiO3系セラミックスを作製した.それらの電気的特性を改善するために,板状のBaTiO3およびCaTiO3粒子を用いた反応性テンプレート粒成長法により,結晶粒子配向セラミックスを調製した.還元雰囲気(酸素分圧0.1 Pa以下)で焼結されたBaTiO3系セラミックスの電気的性質は,結晶配向性の試料を作製した結果,顕著に改善された.ここでは,圧電アクチュエータへの応用を可能にする電気的特性(特に電気絶縁性)および実効圧電定数約570 pm/Vを達成した.

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