電気学会誌
Online ISSN : 1881-4190
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解説
超音波検査を高精度化するMEMS型超音波送受信素子
町田 俊太郎田中 宏樹
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キーワード: 超音波, MEMS, CMUT, 超音波検査
ジャーナル 認証あり

2020 年 140 巻 6 号 p. 368-371

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抄録

1.はじめに

超音波は,一般的に人間が聞き取れない約20 kHzから数GHzの周波数を持つ音波とされており,医療分野における病変発見のためのエコー検査や,産業分野における建物や構造物の亀裂,劣化を発見するための非破壊検査など,さまざまな分野で活用されている。これらの人体も含

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© 2020 電気学会
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