特集 高電界・プラズマのバイオ現象とその農水食分野利用
プラズマ化学反応
─低温大気圧プラズマ中の化学反応プロセス─
2021 年 141 巻 3 号 p. 151-154
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2021 年 141 巻 3 号 p. 151-154
1．はじめに
低温プラズマは，室温程度の低温下で化学的に活性な粒子（ラジカル）を効率よく生成可能な化学反応場として，これまで半導体製造プロセス，材料創製，環境，照明など幅広い分野で応用されてきた（1）。その際，この低温プラズマは，プラズマ容器内に原料ガスを導入した後に減圧する
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