特集 新技術によって応用が広がる圧電デバイスの最前線
MEMSデバイス向け高性能圧電薄膜の量産技術
2024 年 144 巻 2 号 p. 80-83
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2024 年 144 巻 2 号 p. 80-83
1．はじめに
5G，AI，IoT，AR/VRなどの社会基盤を構築するテクノロジーの進化により，あらゆる産業がエレクトロニクス化するスマート社会が一層加速し，新たな産業やビジネスが創出され，我々の生活が大きな利便性を得るだけでなく，生活そのものさらに社会全体の在り方まで影響を与え
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