半導体製造におけるプロセスインフォマティクス

抄録

プロセスインフォマティクス（process informatics：PI）はものづくり分野におけるAI・データ活用の中でも，製品の性能向上や製造コストやCO₂排出量の低減，歩留向上などを「製造プロセス」の最適化によって少ない試行回数で素早く達成する技術であり，DXの進展やAIの発展を背景に近年急速な広まりを見せている．本稿ではプロセスインフォマティクス技術の基礎となる機械学習・数理最適化について簡単に説明し，プロセスインフォマティクスの方法論を概説し，活用事例を紹介する．また2019年の創業以来，プロセスインフォマティクス専業のスタートアップ企業として多数の企業の製品開発・製造プロセスで成果を創出してきた当社の知見も含め，プロセスインフォマティクスで成果を出す上で重要となるポイントについて述べる．