レーザイオン化法によるPDP保護膜材料の二次電子放出比(γ)の測定

抄録

AC型プラズマ・ディスプレイ・パネル(PDP)では、保護膜材料として二次電子放出比(γ)の高い膜を選択することは、高効率化、低電圧化を実現する上で重要である。今回、CO_2レーザを用いてXeガスを絶縁破壊させ発生したイオンにより、保護膜材料のγ値を測定する新規手法を考案した。そして、この方法による原理実験をおこない測定方法を確立した。また、成膜条件の異なるMgO膜のγ値の測定をおこない、膜質をSEM観察、およびX線回折で評価した。