抄録
ホトプロセスを用いたMIM(Metal-Insulator-Metal)電子源の作製と、カラー蛍光面と組み合わせたカラー表示実験、およびそれらを貼り合わせたパネル試作を行った。ホトプロセスでは、電子源表面のホトレジスト汚染による電子放出特性劣化について検討し、UVオゾンアッシングによる上部電極表面のクリーニングで、ホトプロセスでも、従来のメタルマスクプロセスで得られる電子放出比を落とさずにMIM電子源を作成できることが分かった。P22蛍光体と組み合わせたカラー表示実験では4kV加速で、スクリーンの白色発光効率8lm/Wが得られた。また、MIM電子源とP22蛍光面をフリット封着、封止し、MIM電子源カラーパネルを初めて試作した。
