CoPt-TiO_2垂直磁気記録薄膜の磁気特性と膜構造(媒体および一般)

橋本 一慶; 長崎 侑弥; 戸田 哲也; 大貫 仁; 有明 順; 平野 辰巳; 曽山 和彦; 山崎 大; 武田 全康; 鳥飼 直也

doi:10.11485/itetr.32.28.0_27

セッションID: MMS2008-44

DOI https://doi.org/10.11485/itetr.32.28.0_27

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CoPt-TiO_2垂直磁気記録薄膜の磁気特性と膜構造(媒体および一般)

橋本一慶, 長崎侑弥, 戸田哲也, 大貫仁, 有明順, 平野辰巳, 曽山和彦, 山崎大, 武田全康, 鳥飼直也

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キーワード: 磁気特性, 垂直磁気記録, ハードディスク, X線回折

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抄録

垂直磁気記録媒体の一つであるCoPt系合金磁性薄膜は基板/下地層/磁性層の積層構造から成るため、その下地層の膜厚と配向性、及び磁性層の膜厚等の違いにより磁気特性が大幅に変化すると考えられる。本研究はCoPt-TiO_2/Ru/Pt/SiO_2構造におけるRu/Pt下地層の膜厚と配向性等の膜構造がCoPt-TiO_2の配向性、粒径および磁気特性に及ぼす影響を明らかにすることを目的とした。

責任著者(Corresponding author)

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