抄録
ナノテクノロジーの進展に伴い，ナノオーダーの超精密位置決めに対する需要が高まっている．この精度を実現するアクチュエータとして，圧電素子を用い
た弾性ヒンジによる微動用ステージが多く利用されている．
しかしながら，圧電素子はストロークや耐久性に乏しいといった問題を抱えている．それに比べ空気圧ベローズはストロークが長く，耐久性の信頼性も高い．そのため本研究では圧電素子を空気圧ベローズに置き換えたステージによりナノ位置決め制御を行うことを提案し，実際に装置を制作し10[nm]以下の精度，1[nm]の分解能を確認した．
