PLD法による全固体EC素子用WO₃薄膜の作製

抄録

我々の研究では、吸光タイプのＥＣ素子という表示素子に着目している。その構造は、透明電極薄膜層、EC材料薄膜層、電解質薄膜層から構成されている。特徴は低消費電力、視野角依存性がない、メモリー性、目に優しいなどがあり、一般的に液体電解質を用いたＥＣ素子が使用されている。このＥＣ素子を電子タグやカード類に応用したいと考えており、液漏れやフレキシブル性などの問題から、イオン交換膜や固体電解質薄膜を用いた全固体ＥＣ素子の作製に取り組んでいる。そのため、それぞれの層の最適化が必要であり、今回はEC材料薄膜であるWO3薄膜の最適化を行った。