MEMS技術を利用したPlano-convex形状水晶振動子の開発

抄録

ATカット水晶振動子には，主振動となる厚み滑り振動の他に，不要な振動モード(スプリアス)も同時に発生し，振動子の特性を著しく低下させることが知られている。従来のPlano(平行平板)形状では，スプリアスを回避することが難しく，Q値の低下によって高い周波数安定度が得られないことが問題となる。本研究では，高Q値の高周波水晶振動子の開発を目標としている。厚膜レジストの蒸気リフローとDRIEを用いて，水晶表面をConvex形状に加工する技術を開発した。更に，ウェットエッチングによって水晶ウェハを薄く加工することで，高周波数化も実現した。結果として，従来のPlano水晶振動子の2.4倍のQ値が得られた。