薄膜Si太陽電池作製のための大面積VHFプラズマの均一化

抄録

近年、地球温暖化や化石燃料枯渇化が問題視され、再生可能なエネルギー資源が求められている。その一つとして薄膜型Ｓｉ太陽電池が注目されている。その量産化のためには、高電子密度で高速成膜に適したＶＨＦ(超短波)プラズマが有効であることが示され、これまでに狭電極間隔・高圧力下で、大面積における高速・高品質成膜の可能性が報告されている。しかし、ＶＨＦプラズマを大面積で均一に生成することは困難で、プラズマの内部パラメータの計測によるプラズマの生成・維持メカニズムの解明が必要不可欠である。　本研究では、給電方式や電極形状等を変化させ、電子温度・電子密度の計測を行い、大面積VHFプラズマの均一化を目指している。