高周波放電のAM変調によるナノ粒子サイズ分布の制御

抄録

プラズマと材料のナノ界面における相互作用を解明・制御するモデル実験として、反応性プラズマ中のナノ粒子のサイズ分布に注目した[1-3]。実験では容量結合高周波放電により生成した。反応性プラズマ中でナノ粒子を発生成長させ、そのサイズ分に対するAM変調の効果を調べ,AM変調によりサイズ分布が狭くなる結果が得られた。