抄録
希土類元素を利用したTerfenol-Dは超磁歪と適度な軟磁性を両立した優れた磁歪材料であるが、比較的もろいことや安定供給が懸念される希土類元素を用いる点などの欠点を有している。一方、Fe-Ga合金であるGalfenol合金は研究段階ではあるものの、機械的強度が強く、またTerfenol-Dに匹敵するような大きな磁気歪みも報告されておりTerfenol-Dに代わる磁歪材料として期待される合金の一つである。本稿では、MEMS等への応用を鑑み、電析法によるFeGa膜に関して、浴組成や電析条件が膜組成および磁気特性に与える影響を検討したのでその結果に関して報告を行うものである。
