抄録
近年、プラズマ中に浮遊している微粒子をプローブとして用いたプラズマパラメータ評価が、低侵襲性、局所計測などの理由から注目されている。最近我々は、プラズマシース境界付近にトラップされている微粒子群の運動を顕微鏡下で観察することに成功した。今回は、顕微鏡下で観察した微粒子運動の動画解析から、観察領域におけるプラズマパラメータの時空間解析や統計解析を行った結果を報告する。実験では、Ar高周波プラズマに、粒形10μmのアクリル微粒子を導入した。リング型放電電極中央付近のプラズマシース境界に捕捉された微粒子の運動を高速度カメラで撮影し、得られた動画から微粒子運動をトラッキング解析した。詳細は講演にて。
